| 主权项 |
一种堆叠式传送室(loadlock)总成，其包含：一上部传送室，其包含一或多个基板腔室；一下部传送室，其包含一或多个基板腔室；每一上部传送室基板腔室系安置在一下部传送室基板腔室上方；以及一或多个中心板，用于使每一下部传送室基板腔室与该上覆(overlaying)之上部传送室基板腔室隔离，其中每一中心板界定该上覆之上部传送室基板腔室之底板及该下覆(underlying)之下部传送室基板腔室之顶板，及其中每一中心板包含第一及第二环形凹槽，该第一环形凹槽至少部分界定一用于将气体自该上覆之上部传送室基板腔室中抽出之流动路径，且该第二环形凹槽至少部分界定一用于将气体排入(venting)该下覆之下部传送室基板腔室中之流动路径。
|
