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发明名称 Vacuum feedthrough for chemical reactor and particularly to a CVD and HVPE reactors
摘要
申请公布号 PL67893(Y1) 申请公布日期 2015.07.31
申请号 PL20130121967U 申请日期 2013.04.19
申请人 INSTYTUT WYSOKICH CI&Sacute,NIE&Nacute, POLSKIEJ AKADEMII NAUK;TOPGAN SPÓ&Lstrok,KA Z OGRANICZON&Aogon, ODPOWIEDZIALNO&Sacute,CI&Aogon, 发明人 &Lstrok,UCZNIK BOLES&Lstrok,AW;SOCHACKI TOMASZ;AMILUSIK MIKO&Lstrok,AJ;BO&Cacute,KOWSKI MICHA&Lstrok,
分类号 C30B31/06;C23C8/06;C30B35/00;F16J15/00 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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