| 摘要 |
<p>본 발명은 케미컬 탱크의 기포 제거장치에 관한 것으로, 케미컬을 저장하는 탱크부와, 상기 탱크부에 저장된 케미컬을 순환관을 통해 순환시키는 순환펌프와, 공정 배스에서 사용된 케미컬을 드레인하되, 상기 순환펌프의 출구단측으로 1차 드레인시켜, 공기가 분리되기 전 케미컬을 수용하는 드레인관과, 상기 순환펌프의 압력에 의해 상기 드레인관에 수용된 케미컬의 수위가 상승할 때 상기 케미컬의 상부에 모인 공기를 배기하는 배기관과, 상기 드레인관에 마련되어 케미컬의 드레인과 배기 상태를 조절하는 제1밸브 및 제2밸브와, 상기 순환관에 마련되어 탱크부 내의 케미컬의 순환을 조절하는 제3밸브와, 상기 배기관에 마련되어 상기 기포의 배기를 조절하는 제4밸브를 포함한다. 본 발명은 순환펌프의 압력을 이용하여 드레인되는 케미컬에서 공기를 분리하고, 특정 조건에서 분리된 공기를 외부로 배출시킴으로써, 케미컬에서 공기를 분리하는 분리제거율을 높일 수 있는 효과가 있다.</p> |
