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发明名称
CHEMICAL VAPOR DEPOSITED SILICON CARBIDE ARTICLES
摘要
<p>화학적 기상 증착된 실리콘 카바이드 물체들 및 이들을 생산하는 방법이 개시된다. 화학적 기상 증착된 실리콘 카바이드 물체들은 소결된 세라믹 조인트들에 의해 함께 결합된 복수 개의 파트들로 구성된다. 조인트들은 물체들의 조인트들에서 공차를 강화하고 유지한다. 물체들은 반도체 공정에 사용될 수 있다.</p>
申请公布号
KR101540933(B1)
申请公布日期
2015.07.31
申请号
KR20080022226
申请日期
2008.03.10
申请人
发明人
分类号
C04B41/80;C04B41/85
主分类号
C04B41/80
代理机构
代理人
主权项
地址
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