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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung eines Objekts (7), umfassend eine Strahlungsquelle (1) zum Erzeugen eines Ausgangsstrahls (2), mindestens einen Strahlteiler (9) sowie mindestens einen Detektor (3), wobei der Strahleiter (9) derart im Strahlengang des Ausgangsstrahls (2) angeordnet ist, dass der Ausgangsstrahl in zumindest einen Messstrahl (2') und einen Referenzstrahl (10) aufgespalten wird und die Vorrichtung derart ausgebildet ist, um den Referenzstrahl auf dem Detektor mit einem Interferenzstrahl (8) zur Ausbildung einer optischen Interferenz zu überlagern, welche sich dadurch kennzeichnet, dass die Vorrichtung einen optischen offenen Resonator umfasst, welcher derart im Strahlengang der Vorrichtung angeordnet ist, dass der Messstrahl in den offenen optischen Resonator eintritt und der aus dem offenen optischen Resonator austretende Interferenzstrahl (8) mit dem Referenzstrahl (10) auf dem Detektor (3) zur Ausbildung einer optischen Interferenz überlagert wird. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts. |
