Beleuchtungsvorrichtung; Beleuchtungsverfahren, Messvorrichtung und Messverfahren

摘要

Eine Beleuchtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung enthält eine Lichtquelle, einen reflektierenden Spiegel, ein optisches System und einen Rechner. Der reflektierende Spiegel enthält einen ersten Reflektor und einen zweiten Reflektor und ist dazu geeignet, während ein Reflexionswinkel geändert wird, ein erstes Teillicht zu reflektieren und auf ein Objekt zu richten, wobei das erste Teillicht ein Teil von Licht von der Lichtquelle, das auf den ersten Reflektor emittiert wird, ist. Das optische System teilt das Licht der Lichtquelle in ein erstes Teillicht und ein zweites Teillicht und führt das zweite Teillicht zu dem zweiten Reflektor. Der Rechner ist dazu geeignet, den Reflexionswinkel des reflektierenden Spiegels zu berechnen, indem das zweite Teillicht, das durch den zweiten Reflektor reflektiert wird, empfangen wird.