摘要 |
半導体装置は、第一の半導体チップ(1)、その側面の拡張部(2)及び上の接続端子(4)、半導体チップ(1)及び拡張部(2)上で、接続端子(4)に接合する配線(51)とその上の絶縁層(54)を含む再配線部(50)、拡張部(2)上、再配線部(50)の表面にあり、絶縁層(54)の開口部(541)で配線(51)に接合する電極(16)を有する。電極(16)は、主に配線(51)より高弾性率の材料からなり、開口部(541)で配線(51)と接合する接合領域(r1)及び拡張部(2)の端部に近い外方領域(r2)を有する。配線(51)は外方領域(r2)の手前まで連続に延伸する。 |