| 摘要 |
セラミック部材（２００）は、絶縁性を有し、一体焼成された複数のセラミック層（２９１−２９７）と；第１のセラミック層（２９６）上に形成され、静電力によって誘電体を吸着可能に構成された電極である吸着電極（３７２，３７４，３７６，３７８）と；セラミック部材（２００）の外部から吸着電極（３７２，３７４，３７６，３７８）に対する電力の供給を受け付ける給電口（３１２，３１６）と；第２のセラミック層（２９５）上に形成され、給電口を通じて受電可能に構成された導体であるランド（３３２，３３６）と；複数のセラミック層の少なくとも１つを貫通して吸着電極（３７２，３７４，３７６，３７８）とランド（３３２，３３６）との間を電気的に接続する導体であるビア（３５２，３５４，３５６，３５８）とを備える。 |
