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发明名称
積層複合体
摘要
実用的な条件でグラフェンを基板上に均一かつ安定的に、高いキャリア移動度を持つように積層した複合積層体を提供する。α−酸化アルミニウム単結晶からなるサファイア基板と、該サファイア基板に接して形成されたグラフェン層とを有する積層複合体であって、該サファイア基板が、r面(01−12)で該グラフェン層と接している、積層複合体。
申请公布号
JPWO2013129514(A1)
申请公布日期
2015.07.30
申请号
JP20140502330
申请日期
2013.02.27
申请人
旭化成株式会社;国立大学法人九州大学
发明人
荒木 徹;田中 悟
分类号
C01B31/02;B82Y30/00;B82Y40/00;H01L21/205;H01L29/06;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
主分类号
C01B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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