| 摘要 |
<p>ＭＥＭＳ共振器（５００）と、ＭＥＭＳ共振器の振動子（１０１；１０１ｘ；５０１；５０１ｘ；８０１）の共振周波数ｆ０を内に含む所定の周波数範囲にわたって所定の掃引方向に沿って励振信号の周波数を掃引しつつ励振信号をＭＥＭＳ共振器へ出力する掃引部（４０１）と、当該掃引において、ＭＥＭＳ共振器から、振動子の振動状態を表す特徴量である振動状態情報信号を入力し、励振信号の周波数が互いに異なるときの複数の振動状態情報信号を積算し、当該積算値を出力する積算部（４１４）と、積算値に基づいてＭＥＭＳ共振器に作用する圧力を決定する変換部（４１５）と、を有する、圧力センサ（４００）である。</p> |
