慣性力センサ

摘要

慣性力センサは、基部と、基部に設けられた接続用電極と、基部に支持された可撓部と、可撓部の上面に設けられた駆動部と、可撓部の上面に設けられた検出部と、駆動部と検出部とのうちの一方の上面に配された層間絶縁層と、層間絶縁層の上面を経由して駆動部と検出部とのうちの他方を接続用電極に電気的に接続する配線とを備える。この慣性力センサは、感度を向上できるとともに、小型である。