高周波電源装置およびその整合方法

摘要

整合器の定数と周波数発振器の発振周波数が可変である高周波電源装置、およびその整合方法において、高周波電源装置とその電力供給先である負荷との間の整合状態を示す整合状態値を検出し、当該整合状態値に基づいて周波数発振器の発振周波数を制御する周波数制御と、当該整合状態値に基づいて整合器の定数を制御する整合器とを同時に実行する。整合器制御で定数を変更している間も、周波数制御によって発振周波数を変更し続ける。