| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zur Erfassung einer Rauheit und/oder eines Profils einer Oberfläche (2) eines Messobjekts, umfassend einen statischen Teil (3), einen beweglichen Teil, mindestens eine Führungseinrichtung (10) zur Führung einer Linearbewegung des beweglichen Teils und eine Einrichtung zur Erzeugung einer Antriebsenergie zum Antrieb des beweglichen Teils, wobei zumindest ein Teil mindestens eines Tastersystems zur Erfassung der Rauheit und/oder des Profils an dem beweglichen Teil angeordnet ist, wobei über mindestens ein Energieübertragungsmittel die Antriebsenergie auf das bewegliche Teil übertragbar ist, wobei das mindestens eine Energieübertragungsmittel ein mechanisches oder ein nicht-mechanisches Energieübertragungsmittel ist, wobei ein mechanisches Energieübertragungsmittel derart ausgebildet ist, dass während einer Energieübertragung auf das bewegliche Teil zumindest in eine von der gewünschten Bewegungsrichtung verschiedene Richtung keine Kraft auf das bewegliche Teil wirkt.</p> |
