| 摘要 |
本発明は、［Ａ］下記式（１）で表される構造単位を有する重合体、及び［Ｂ］酸発生体を含有するフォトレジスト組成物である。下記式（１）中、Ｒ１は、炭素数４〜２０の２価の多環の脂環式炭化水素基である。Ｒ２は、炭素数３〜２０の１価の単環又は多環の脂環式炭化水素基である。Ｒ３は、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。［Ａ］重合体は、ラクトン構造、環状カーボネート構造及びスルトン構造からなる群より選ばれる少なくとも１種の構造を含む構造単位をさらに有することが好ましい。［Ａ］重合体は、下記式（２）で表される構造単位をさらに有することが好ましい。 |
