可動走査ミラーを伴う撮像システム

摘要

位置決めステージが対物レンズ構成要素との関係において並進運動させられ、基板上の生化学的部位から２次元画像が作成される間に走査ミラーが再度位置づけされる撮像システムが提供される。好ましい実施形態において、撮像システムはカメラ、対物レンズ構成要素、位置決めステージ及び走査ミラーを備え、これらは、連続的に移動する位置決めステージの撮像中基板画像が安定した状態に維持されるような形で位置決めステージの移動と走査ミラーの傾動を同期するサーボシステムにより制御可能である。