| 摘要 |
本発明は、繰り返し取り外し作業を行っても汚染の発生懸念が少ない締結部材及び締結部材を有する真空装置を提供することを目的とする。本発明の一実施形態に係る締結部材は、真空装置のチャンバー内壁に部材を取り付けるための締結部材であって、頭上面部と、前記頭上面部に対向する座面部と、前記頭上面部と前記座面部との間の側壁を構成する頭側面部とを有する頭部と、前記頭部の前記座面部側に設けられ、前記頭部とは反対側の端部にねじ部を有する軸部と、を備え、前記ねじ部は少なくとも前記締結部材の他の部分より高い硬度が付与されており、前記締結部材によって前記部材を前記チャンバー内壁に取り付ける際、前記ねじ部が前記チャンバー内壁に設けられためねじ部に螺合するとともに、前記座面部が前記部材を前記チャンバー内壁に押し付けるように構成されている。 |
