Verfahren zum Trocknen eines Werkstücks

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trocknen eines gereinigten Werkstückes in einer Kammer in folgenden Verfahrensschritten:•Einbringen oder Belassen des Werkstückes in die oder in der Kammer•Verschließen der Kammer•Einbringen eines temperiert Gases in die Kammer•Auslassen zumindest eines Teils des temperiert Gases aus der Kammer•Erzeugung eines Unterdrucks in der Kammer