| 摘要 |
<p>Vorrichtung mit: einer oder mehreren Festphasenimmersionslinsen (56), dazu ausgebildet, über einer Photolackschicht (40) positioniert zu werden, wobei die eine oder die mehreren Festphasenimmersionslinsen (56) in Form eines Arrays angeordnet sind; und weiterhin mit einer Phasenschiebermaske, die über der einen oder über den mehreren Festphasenimmersionslinsen (56) positioniert ist.</p> |
