发明名称 |
一种曝光均匀度好的曝光机 |
摘要 |
本实用新型提供了一种曝光均匀度好的曝光机,包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。本实用新型的有益效果是:可通过电机带动同步轮,通过同步轮带动同步带,通过同步带带动曝光灯在曝光台面上移动,有利于提高超大台面的曝光均匀度。 |
申请公布号 |
CN204515343U |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201520199780.7 |
申请日期 |
2015.04.06 |
申请人 |
深圳市诺林电子科技有限公司 |
发明人 |
陈志林 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
广东国晖律师事务所 44266 |
代理人 |
谭宗成 |
主权项 |
一种曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。 |
地址 |
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道万丰大郎山西路25号一楼中 |