发明名称 一种曝光均匀度好的曝光机
摘要 本实用新型提供了一种曝光均匀度好的曝光机,包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。本实用新型的有益效果是:可通过电机带动同步轮,通过同步轮带动同步带,通过同步带带动曝光灯在曝光台面上移动,有利于提高超大台面的曝光均匀度。
申请公布号 CN204515343U 申请公布日期 2015.07.29
申请号 CN201520199780.7 申请日期 2015.04.06
申请人 深圳市诺林电子科技有限公司 发明人 陈志林
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 广东国晖律师事务所 44266 代理人 谭宗成
主权项 一种曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。
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