处理装置及测试装置

摘要

本发明提供能够缩短测试时间的处理装置。是将多个被测试器件搬送到测试用插座上的处理装置，具有：测试部，设置有插座；加热部，搬送在表面上载置多个被测试器件的托盘，将多个被测试器件的温度控制成预先规定的测试温度，将托盘搬送到测试部；器件摄像部，其在加热部内，具有沿第1方向与被测试器件同数目排列的多个摄像元件，将多个摄像元件沿与第1方向不平行的第2方向，相对于托盘的表面作相对的移动，来拍摄各个被测试器件的图像；以及位置调整部，其基于器件摄像部拍摄到的各个被测试器件的图像，调整被测试器件对插座的位置。

主权项

一种处理装置，是将多个被测试器件搬送到测试用插座上的处理装置，其具有：测试部，设置有所述插座；加热部，其搬送在表面上载置了所述多个被测试器件的托盘，将所述多个被测试器件的温度控制为预先规定的测试温度，并将所述托盘搬送到所述测试部；器件摄像部，在所述加热部内，具有沿第1方向排列与所述被测试器件同数目的多个摄像元件，沿与第1方向不平行的第2方向，相对于所述托盘的表面相对地移动所述多个摄像元件，来拍摄各个被测试器件的图像；以及位置调整部，其基于所述器件摄像部拍摄到的各个所述被测试器件的图像，调整所述被测试器件相对于所述插座的位置。