分级静电透镜中控制离子束的偏移的系统与方法

摘要

本发明揭示一种用于控制离子束的偏移、减速及聚焦的方法及设备。所述设备可包含分级偏移/减速透镜，其包含安置于离子束的相对侧的多个上部及下部电极，及用于调整施加至所述电极的电压的控制系统。使用可操作以独立地控制所述离子束的偏移及减速的一组“虚拟旋纽”来改变上部与下部电极对之间的电位差。虚拟旋纽包含：对束聚焦及残余能量污染的控制；对上游电子抑制的控制；对束偏移的控制；以及对所述束的最终偏移角度的微调，同时将所述束的位置约束于所述透镜的出口处。在另一实施例中，藉由在量测晶圆平面处所述束位置及角度的同时微调束偏移来进行此步骤。在又一实施例中，藉由调谐偏移因子以达成定中心于所述晶圆平面处的束来进行此步骤。

主权项

一种用于控制离子束的偏移的方法，其包括：提供电极组态，所述电极组态包括多个上部及下部电极对，每一对的所述上部及下部电极位于离子束的相对侧；对所述离子束的减速进行分级，沿透镜的长度获得偏移因子函数，以获得束角度校正，其中所述偏移因子包括在沿偏移弧的特定位置处的上部电极及下部电极之间的电压差与在所述特定位置处的中心射线轨迹的能量之间的比例常数；以及获得所述多个上部及下部电极对的电极电压以调整所述离子束的所述分级、所述偏移因子以及聚焦，使得所述离子束的中心射线轨迹位于所述透镜的中心处；其中调整所述分级及所述偏移因子是使用调整所述离子束的至少一参数的至少一虚拟旋纽来达成，且所述至少一虚拟旋钮的作用是藉由将所述电极电压指派给所述上部及下部电极对来达成。