ハンドル基板および半導体用複合ウエハー

摘要

半導体用複合ウエハーのハンドル基板において、ノッチを形成したウエハーのパーティクルを抑制できるようにする。半導体用複合ウエハーのハンドル基板１Ａ、１Ｂが多結晶セラミックス焼結体により形成されており、外周縁部にノッチ２Ａ、２Ｂを有している。ノッチが焼成面によって形成されている。