功能元件、电子器件、电子设备和移动体

摘要

本发明提供功能元件、电子器件、电子设备和移动体。能够防止由振动泄漏现象引起的倾斜振动传递到检测部而导致检测精度下降。作为功能元件的陀螺元件具有：支承体；检测部，其与支承体连接，检测第1轴方向的振动；驱动连结部，其具有第1部分和第2部分，第1部分与支承体连接，在第1轴方向上延伸，第2部分与第1部分连接，比第1部分的第1轴方向的尺寸短，在第2轴方向上延伸；以及质量部，其与驱动连结部连接，经由驱动连结部与支承体连接，质量部在与包含相互正交的第1轴和第2轴的面的法线平行的第3轴方向上进行驱动振动。

主权项

一种功能元件，其特征在于，在设相互正交的2个轴为第1轴和第2轴、与包含所述第1轴和所述第2轴的面的法线平行的轴为第3轴时，所述功能元件具有：支承体；检测部，其与所述支承体连接，检测所述第1轴的方向的振动；驱动连结部，其具有第1部分和第2部分，所述第1部分与所述支承体连接，在所述第1轴的方向上延伸，所述第2部分与所述第1部分连接，比所述第1部分的所述第1轴的方向的尺寸短，在所述第2轴的方向上延伸；以及质量部，其与所述驱动连结部连接，经由所述驱动连结部与所述支承体连接，所述质量部在所述第3轴的方向上进行驱动振动。