摘要 |
本实用新型涉及一种改进照明型干涉系统,主要包括激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)、分光镜(9)、反射镜(10)和准直镜(12),按照激光光路的方向依次设置激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)和分光镜(9)。本实用新型提供的改进照明型干涉系统利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理,通过改进照明系统,实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调,使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。 |