发明名称 LaNiO3薄膜形成用組成物及びこの組成物を用いたLaNiO3薄膜の形成方法
摘要 An LaNiO 3 thin-film-forming composition contains an LaNiO 3 precursor, an organic solvent and a stabilizer. Also, the mixture ratio of the LaNiO 3 precursor relative to a total of 100% by mass of the LaNiO 3 precursor, the organic solvent and the stabilizer is 1-20% by mass on an oxide basis. Further, the dispersion component (dD), the polarization component (dP), and the hydrogen bond component (dH) of the HSP value of the organic solvent fulfill the relations 14<dD<20, 3<dP<26, and d3<dH<30, respectively.
申请公布号 JP5754539(B2) 申请公布日期 2015.07.29
申请号 JP20140202797 申请日期 2014.10.01
申请人 三菱マテリアル株式会社 发明人 藤井 順;桜井 英章;曽山 信幸
分类号 H01L21/316;C01G53/00 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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