双层交错多周期金属圆环嵌套阵列的电磁屏蔽光窗

摘要

双层交错多周期金属圆环嵌套阵列的电磁屏蔽光窗属于电磁屏蔽技术领域，电磁屏蔽光窗由两层金属网栅旋转交错排列加载于光窗透明基片或衬底两侧构成，每层金属网栅均由一组同心金属圆环对和另一不同直径金属圆环分别按等边三角形排列密接排布构成并交叉分布加载于光窗透明基片或衬底表面，同一直径相邻圆环外切连通；同心圆环对中外圆环作为基本圆环其内部含有与其内切连通、金属的子圆环。在圆环相切连通的连接处，通过线条交叠或设置保证金属环切点间可靠电联接的金属，确保所有圆环相互导电。通过双层网栅交错角的选取，本发明的金属网栅结构可显著降低网栅高级衍射光强分布的不均匀性，使衍射造成的杂散光分布更加均匀，对成像影响更小。

主权项

双层交错多周期金属圆环嵌套阵列的电磁屏蔽光窗，在光窗透明基片或衬底的两侧平行放置两层金属网栅(3)和(7)，两层金属网栅(3)和(7)具有相同的单元外形和结构参数，其特征在于：两层金属网栅(3)和(7)旋转交错排列，每层金属网栅均由一组同心金属圆环对和另一不同直径的金属圆环分别按等边三角形排列密接排布构成并交叉分布加载于光窗透明基片或衬底表面；其中，同心圆环对中的外圆环作为基本圆环(10)，其内部含有与其内切连通、金属的子圆环(11)，同心圆环对与其内切连通的子圆环共同组成二维金属网栅结构的基本单元；与基本圆环(10)直径不同的另一金属圆环作为调制圆环(12)构成调制圆环阵列，调制圆环(12)中总有对应基本圆环(10)与其组成同心圆环结构，调制圆环阵列与基本单元构成的基本圆环阵列形成交叉分布结构；基本圆环阵列中各基本圆环(10)直径相等且按等边三角形排列密接排布时相邻的基本圆环(10)外切连通，调制圆环阵列中各调制圆环(12)直径相等且密接排布时相邻的调制圆环(12)外切连通；同心圆环对的外圆环与内圆环(14)、子圆环(11)、调制圆环(12)的直径为毫米和亚毫米量级，同心圆环对的外圆环与内圆环(14)、子圆环(11)、调制圆环(12)的金属线条宽度为微米和亚微米量级；所述的等边三角形排列是指构成阵列时三个两两相邻的等直径金属圆环的圆心连线构成等边三角形；所述的旋转交错排列是指：透明基片或衬底两侧的金属网栅按非对称放置时，两层金属网栅之间具有相对旋转，相对旋转角度为交错角；所述的外切连通包括：①两圆环外切且外切切点处设置将两圆环连通的连接金属(13)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(13)；所述的内切连通包括：①两圆环内切且内切切点处设置将两圆环连通的连接金属(13)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(13)。