一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构

摘要

一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构，包括衬底、两块下极板和上极板、直角梁和两个锚区；下极板沉积于衬底上表面；两个锚区置于衬底上；上极板悬置在下极板上方，直角梁以上极板为轴分为完全对称的两部分，每一部分包括两个直角边，其中一个直角边连接上极板的一侧，另一个直角边固定在一个锚区侧面；上极板与直角梁位于同一平面，该平面与衬底所在平面平行；两块下极板与上极板之间分别形成平板电容C1和C2。结构层残余应力在引起上极板的平移后，电容C1和C2会发生变化，通过MEMS电容常规测试，即可获取残余应力的具体信息。本发明通过简单的电容结构，实现了表面微机械加工过程中产生的残余应力的测试，且成本低廉，易于操作。

主权项

一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构，其特征在于：包括衬底（1）、两块下极板（2）和上极板（3）、直角梁（4）和两个锚区（5）；所述下极板（2）沉积于衬底（1）上表面；所述两个锚区（5）置于衬底（1）上；所述上极板（3）悬置在下极板（2）上方，所述直角梁（4）以上极板（3）为轴分为完全对称的两部分，每一部分包括两个直角边，其中一个直角边（41）连接上极板（3）的一侧，另一个纵直角边（42）固定在一个锚区（5）侧面；上极板（3）与直角梁（4）位于同一平面，该平面与衬底（1）所在平面平行；所述两块下极板（2）分别有一部分延伸出上极板（3）的覆盖范围，两块下极板（2）被上极板（3）遮蔽的面积相同；两块下极板（2）与上极板（3）之间分别形成平板电容C1和C2。