| 发明名称 | 一种用于硅麦克风的振膜 | ||
| 摘要 | 一种用于硅麦克风的振膜，其特征在于：所述振膜包括基面和设置在所述基面同侧的多个空心突起，所述空心突起具有凹面、底面和侧壁，所述凹面与所述基面位于同一平面上，所述底面与所述基面相平行；所述空心突起的高度高于所述基面厚度的1.5倍；所述凹面或者所述底面之中的面积较大者所具有的最大直径处于0.5-50微米范围内，且所述面积较大者所具有的最大直径和最小直径之比不大于5∶1。本实用新型的提出，使得以现有工艺水平可以实现在振膜上的每个局部均达到较优的改善效果，从而调整振膜的力学特性，以更进一步提高灵敏度、线性度、信噪比、敏感电容、动态响应等指标。 | ||
| 申请公布号 | CN204518054U | 申请公布日期 | 2015.07.29 |
| 申请号 | CN201520023310.5 | 申请日期 | 2015.01.13 |
| 申请人 | 北京卓锐微技术有限公司 | 发明人 | 万蔡辛;杨少军 |
| 分类号 | H04R7/12(2006.01)I | 主分类号 | H04R7/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人 | 孙皓晨;朱世定 |
| 主权项 | 一种用于硅麦克风的振膜，其特征在于：所述振膜包括基面和设置在所述基面同侧的多个空心突起，所述空心突起具有凹面、底面和侧壁，所述凹面与所述基面位于同一平面上，所述底面与所述基面相平行；所述空心突起的高度高于所述基面厚度的1.5倍；所述凹面或者所述底面之中的面积较大者所具有的最大直径处于0.5‑50微米范围内，且所述面积较大者所具有的最大直径和最小直径之比不大于5：1。 | ||
| 地址 | 100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室 | ||