一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头

摘要

本发明公开了一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头，属于工业电视监控领域。所述针孔镜头包括镜头结构和CCD摄像装置，其放大倍率为β＝-0.37x，物方数值孔径为NA＝0.0225，物方视场为Φ25mm。该镜头可以让系统及时了解到工件台的位置状况，从而对工件台的位置做出及时的调整，使其始终处于正确位置并保持水平。本发明所使用的玻璃材料全部来自成都光明光电有限公司。

主权项

一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头，其特征是：从入射方向开始依次设置有5枚镜片，分别为L1～L5，其中光阑位于镜头的最前端，5枚镜片全部位于光阑与镜片之间，而镜片与镜片之间全部采用隔圈压紧。