一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法

摘要

本发明公开一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法，包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构，主单元结构呈正方形，包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元；三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架，正方形框架内侧边上连接有Z轴检测结构、驱动结构、Y轴检测结构和X轴检测结构；三轴加速度计单元包括位于主单元结构中心位置的中心质量块，以及分别安装于主单元结构四个顶角处的扭摆式质量块。本发明具有测量精度高、可靠性强、面板利用率高、全解耦、质量小成本低以及体积结构精简巧妙等优点，并且能够同时测量三个方向的加速度和角速度，适用性强，具有广阔的市场前景。

主权项

一种单片集成六自由度微惯性测量单元，其特征在于：包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构，所述主单元结构呈正方形，包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元；所述三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架，所述正方形框架分别两两对称设置于主单元结构四个侧边的中间位置，且各个正方形框架之间通过耦合折叠梁相互连接；正方形框架内侧边上连接有Z轴检测结构，与正方形框架外侧边上连接有的驱动结构，所述位于主单元结构X轴方向的两个正方形框架内部设有Y轴检测结构，位于主单元结构Y轴方向的两个正方形框架内部设有X轴检测结构；所述三轴加速度计单元包括位于主单元结构中心位置的中心质量块，以及分别安装于主单元结构四个顶角处的扭摆式质量块；所述中心质量块呈正方形，中心质量块的四侧边上均设有第一加速度检测梳齿组件；所述扭摆式质量块关于主单元结构的中心呈中心对称，包括一组非对称的子质量块以及安装子质量块两外侧的第二加速度检测梳齿组件。