发明名称 |
一种塔吊装置以及一种大束流离子注入设备 |
摘要 |
本申请公开了一种塔吊装置以及一种大束流离子注入设备,塔吊装置包括:固定机构,升降立柱,悬臂机构,和吊装机构;固定机构,内置第一气缸结构,固定机构用于和大束流离子注入设备的磁场线圈设备连接,以固定塔吊装置;升降立柱,升降立柱的第一端设置有第一回旋转轴,升降立柱的第二端内置于固定机构,并和第一气缸结构连接,升降立柱利用第一气缸结构的往复运动实现升降;悬臂机构,悬臂机构的第一端设置有第一回旋体,用于和第一回旋转轴连接,在第一回旋体和第一回旋转轴的相互作用下,悬臂机构能够环绕升降立柱进行旋转;吊装机构,和卷绕结构连接,吊装机构用于塔吊装置起吊离子筛选腔体时,连接离子筛选腔体。 |
申请公布号 |
CN104803297A |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201410033234.6 |
申请日期 |
2014.01.23 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
发明人 |
朱厚华;胡德明;林伟旺;张磊 |
分类号 |
B66C23/16(2006.01)I;B66C23/78(2006.01)I;B66C23/68(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I |
主分类号 |
B66C23/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种塔吊装置,设置在大束流离子注入设备中,其特征在于,包括:固定机构,升降立柱,悬臂机构,和吊装机构;所述固定机构,内置第一气缸结构,所述固定机构用于和所述大束流离子注入设备的磁场线圈设备连接,以固定所述塔吊装置;所述升降立柱,所述升降立柱的第一端设置有第一回旋转轴,所述升降立柱的第二端内置于所述固定机构,并和所述第一气缸结构连接,所述升降立柱利用所述第一气缸结构的往复运动实现升降;所述悬臂机构,所述悬臂机构的第一端设置有第一回旋体,用于和所述第一回旋转轴连接,在所述第一回旋体和所述第一回旋转轴的相互作用下,所述悬臂机构能够环绕所述升降立柱进行旋转;所述悬臂机构内部设置有第二气缸结构和卷绕结构,所述第二气缸结构作用于所述卷绕结构,以使所述卷绕结构带动所述吊装机构起吊所述大束流离子注入设备的离子筛选腔体;所述吊装机构,和所述卷绕结构连接,所述吊装机构用于所述塔吊装置起吊所述离子筛选腔体时,连接所述离子筛选腔体。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 |