发明名称 一种角锥棱镜镀膜保护固定工装
摘要 本实用新型公开了一种角锥棱镜镀膜保护固定工装,包括底座,底座上设有用于放置待镀膜的角锥棱镜的通孔,所述通孔包括横向段和与横向段垂直相连并设置在横向段上方的竖向段,通孔与待镀膜的角锥棱镜的T形段相适配。本实用新型结构简单,安装操作方便,可拆卸,避免了在镀膜过程中发生角锥棱镜底面镀膜缺陷(如压痕、溅射麻点、虚影、非镀膜面镀膜等)、棱边和棱角破损等质量问题。
申请公布号 CN204509453U 申请公布日期 2015.07.29
申请号 CN201420845248.3 申请日期 2014.12.26
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 付西红;陈生辉;李硕;马娜娜
分类号 C23C14/50(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人 陈广民
主权项 一种角锥棱镜镀膜保护固定工装,包括底座,其特征在于:底座上设有用于放置待镀膜的角锥棱镜的通孔,所述通孔包括横向段和与横向段垂直相连并设置在横向段上方的竖向段,通孔与待镀膜的角锥棱镜的T形段相适配。
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