一种锑化锌基热电薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开一种锑化锌基热电薄膜及其制备方法，其中，制备方法包括步骤：采用离子束溅射沉积法首先在绝缘衬底上镀制上一层Sb薄膜层，然后在Sb薄膜层上镀制一层Zn薄膜层，再在Zn薄膜层上镀制一层Sb薄膜层，镀制完成后，在具有惰性气体的气氛条件下，进行高温原位热处理制备得到锑化锌基热电薄膜。本发明的制备方法工艺简单、重复性好、原材料利用率高，不仅能保证高温退火过程中Zn的不缺失，同时可对锑化锌基热电薄膜各元素间进行高精度的控制和可控掺杂，能够有效优化薄膜结构和提高薄膜的热电性能。

主权项

一种锑化锌基热电薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：采用离子束溅射沉积法首先在绝缘衬底上镀制上一层Sb薄膜层，然后在Sb薄膜层上镀制一层Zn薄膜层，再在Zn薄膜层上镀制一层Sb薄膜层，镀制完成后，在具有惰性气体的气氛条件下，进行高温原位热处理制备得到锑化锌基热电薄膜；在镀制之前还包括步骤：预先对绝缘衬底进行超声波清洗，并采用离子源对绝缘衬底以及溅射靶材进行表面预处理。