一种基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法

摘要

本发明公开了一种基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法，本发明所述的基于光弹性原理的柔性微探针为以SU-8胶为材料的整体结构，包括微探针受力端和微探针基体，所述微探针基体包括基体端部和基体尾部，所述基体端部和微探针受力端设置于基体尾部的同一侧，形成微探针结构，通过测量透过柔性铰链应力测量区与测量光路的偏振光光强改变量，建立起与微探针受力端处所受力的大小的关系，即可实现微力的测量。本发明以SU-8胶为微探针材料，加工工艺成本低、稳定性强，具有抗化学腐蚀性、良好的力学性能和生物兼容性、光应力系数大等优点。并且本发明为整体结构，无需装配，制作简单，有助于实现生物医学、材料化学等领域微操作技术的实用化。

主权项

一种基于光弹性原理的柔性微探针，其特征在于，为以SU‑8胶为材料的整体结构，包括微探针受力端和微探针基体，所述微探针基体包括基体端部和基体尾部，所述基体端部和微探针受力端设置于基体尾部的同一侧；所述微探针受力端与基体尾部连接的一端、靠近基体端部的一侧设有弧形缺口，形成柔性铰链应力测量区。