一种多波长光干涉测量润滑膜厚度的装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种多波长光干涉测量润滑膜厚度的装置，包括固定平台、电机、同步带、玻璃盘、油槽、杠杆和微动支架，电机的轴与玻璃盘所在的轴通过所述同步带连接，玻璃盘的下方镀有半反半透膜，油槽安装在杠杆的右端，半反半透膜与钢球在杠杆的作用下构成点接触的摩擦副，油槽内设有钢球、微型轴承和润滑剂，钢球部分浸泡在润滑剂中且钢球被所述微型轴承三点支撑，杠杆的左端安装有载荷。本发明无需动态标定光干涉图像中条纹的干涉级次、对设备动态性能要求低，实施方便，综合利用了不同波长单色光在不同膜厚大小处分辨率不同的特点，使得在整个测量范围内有较高分辨率和精度，采用的波长数越多则测量越准确，提高了测量精度。

主权项

一种多波长光干涉测量润滑膜厚度的装置，包括固定平台（4）、电机（2）、同步带（3）、玻璃盘（5）、油槽（8）、杠杆（9）和微动支架（10），其特征在于，所述电机（2）、玻璃盘（5）、油槽（8）和杠杆（9）均安装在固定平台（4）上，所述电机（2）位于玻璃盘（5）的右侧，电机（2）的轴和玻璃盘（5）所在的轴均向下穿过固定平台（4），且电机（2）的轴与玻璃盘（5）所在的轴通过所述同步带（3）连接，玻璃盘（5）的下方镀有半反半透膜（6），所述杠杆（9）通过螺栓固定在玻璃盘（5）左侧的固定平台（4）上，所述油槽（8）安装在杠杆（9）的右端，且油槽（8）位于玻璃盘（5）左侧的下方，所述半反半透膜（6）与钢球（7）构成点接触的摩擦副，所述油槽（8）内设有钢球（7）、微型轴承和润滑剂，钢球（7）部分浸泡在润滑剂中且钢球（7）通过所述微型轴承三点支撑在油槽（8）中，所述杠杆（9）的左端安装有载荷，所述电机（2）还连接有调速装置（1），所述微动支架（10）安装在固定平台（4）的左侧，所述微动支架（10）上安装有显微镜（11），显微镜（11）上安装有工业相机（13），所述显微镜（11）还通过光纤（16）连接有卤素灯（15），所述显微镜（11）、工业相机（13）、光纤（16）和卤素灯（15）组成的光路中设有滤光片（12），所述工业相机（13）还通过数据线连接有计算机（14）。