一种方形蓝宝石单晶炉热场结构

摘要

本发明提供了一种方形蓝宝石单晶炉热场结构。它包括上隔热屏、侧隔热屏、下隔热屏、坩埚盖、以及由金属钨制作的方形坩埚、方形托盘、圆形支柱，直角铜导电板与钨棒连接而成的方形加热体结构，本发明的有益效果有：该炉体结构保温效果好、温场稳定、温度梯度合理、生长出的蓝宝石晶体内部缺陷少，热应力小。

主权项

一种方形蓝宝石单晶炉热场结构，其特征在于它包括上隔热屏、侧隔热屏、下隔热屏、坩埚盖、以及由金属钨制作的方形坩埚、方形托盘、圆形支柱，直角铜导电板与钨棒连接而成的方形加热体结构，上隔热屏为钼隔热屏及氧化锆纤维砖保温层，侧隔热屏由内屏和外屏两部分组成，内屏为多层钼板的直角搭接结构，外屏为方形氧化锆纤维砖保温桶结构，侧隔热屏顶部搭放一层环形氧化锆纤维砖结构，下隔热屏由方形钼片隔热屏与氧化锆纤维砖保温层结构组成，且下隔热屏中心留有与圆形支柱直径相匹配的圆形通孔，方形坩埚内部各边均有弧形倒角，方形托盘底部有与支柱配合的圆形卡槽。