反射式的激光在线气体分析仪光路装置

摘要

本实用新型提出一种反射式的激光在线气体分析仪光路装置，包括：依次连接的激光发射接收单元、去背景单元、在线监测单元和激光反射单元；激光发射接收单元包括，可调谐激光器、楔形镜一、参比池、探测器一、探测器二和探测器三，参比池及探测器一的主光轴方向与可调谐激光器发出激光的方向关于楔形镜一的第一表面的法线对称；去背景单元包括楔形镜二；激光反射单元包括楔形镜三和角反射镜。本实用新型通过被测气体的光程翻倍，大大提高了分析仪的灵敏度和检出限；安装调试简单方便；可实时在线测量；光学元器件少，结构简单，非专业人员亦可以完成光路调试和安装。

主权项

一种反射式的激光在线气体分析仪光路装置，其特征在于，包括依次连接的激光发射接收单元、去背景单元、在线监测单元和激光反射单元；所述激光发射接收单元包括，可调谐激光器、楔形镜一、参比池、探测器一、探测器二和探测器三，所述参比池及所述探测器一的主光轴方向与所述可调谐激光器发出激光的方向关于所述楔形镜一的第一表面的法线对称，所述激光经所述楔形镜一的第一表面反射形成第一路反射光，所述第一路反射光经过所述参比池进入所述探测器一，所述激光经过所述楔形镜的第一表面折射后的激光经所述楔形镜的第二表面反射形成第二路反射光，所述第二路反射光通过所述楔形镜的第一表面折射进入所述探测器二；所述去背景单元包括楔形镜二，经过所述楔形镜一的第二表面折射后的激光经过所述去背景单元穿过所述楔形镜二；穿过所述楔形镜二的激光经过所述在线监测单元；所述激光反射单元包括楔形镜三和角反射镜，经过所述在线监测单元的激光穿过所述楔形镜三后入射到所述角反射镜，被所述角反射镜反射的激光依次穿过所述楔形镜三、所述楔形镜二和所述楔形镜一进入所述探测器三。