一种红外探测器用多工位真空排气装置

摘要

本发明公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。

主权项

一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体（1）、主腔体密封阀（2）、分子泵（3）、插板阀（4）、旁抽阀（5）、机械泵（6）和前级阀（7），其特征在于：所述的主腔体（1）是一个圆饼状的腔体，其圆周上均匀分布多个法兰外接接头，同时主腔体下底面有多个法兰外接接头；所述的主腔体密封阀（2）、插板阀（4）、旁抽阀（5）及前级阀（7）为超高真空气动阀；所述的装置的密封形式均为金属密封，其中，仅VCR拆卸处采用镍圈密封，其余的接口处均采用无氧铜圈密封；主腔体（1）作为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上均匀分布多个外接接头将公共室分为多个分支，其中1个分支为测量工位，其余分支为排气工位；每个分支排气工位后均有一个主腔体密封阀ZX（2）和一个柔性转接头CX，其中CX带有为VCR快速拆装接头，可与待排杜瓦进行对接；主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道：其一为旁抽通道，旁抽阀（5）连通主腔体至机械泵（6）；其一为主抽通道，插板阀（4）连通主腔体至分子泵（3），然后前级阀（7）连通分子泵至机械泵。