| 摘要 |
<p>본 개시는 자기 하드 디스크 드라이브와 같은 고순도 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 이 장치 표면의 입자감소용 코팅에 관한 것이다. 이 코팅은, 가교결합 작용성을 갖는 반응성 펜던트기를 갖고 기재표면으로부터의 입자탈락을 억제하기 위해 기재 표면에 고착할 수 있는 능력을 갖는 박막 중합체 코팅을 포함한다. 기재의 적어도 일부분 상에 코팅을 포함하는 기재가 제공되고, 이 코팅은 불소화된 아크릴레이트 랜덤 공중합체를 포함한다. 입자상 오염의 감소방법도 제공된다.</p> |
