| 摘要 |
<p>본 발명은 플라즈마 화학기상 장치 및 플라즈마 화학기상 장치용 전극유닛에 관한 것으로서, 상기 전극유닛은 회전 가능하게 설치되며, 외측면이 복수의 평면으로 형성된 다각형 단면 중공체의 전극과, 상기 전극 내부에 마련되어 기재 측으로 자기장을 형성하는 적어도 하나의 자기장발생부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 전극의 클리닝 및 교체 주기를 증가시켜서 생산 효율을 현격하게 향상시키고, 파티클 발생 및 이상 아크 발생을 최소화할 수 있는 플라즈마 화학기상 장치 및 플라즈마 화학기상 장치용 전극유닛이 제공된다.</p> |
