发明名称 |
冷却剂再生方法以及冷却剂再生装置 |
摘要 |
本发明提供一种冷却剂再生方法,其特征在于,能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用,以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式,从各中空纤维膜的一端向中空部内分别供给所述冷却剂,中空纤维膜的孔径为0.05μm以下。 |
申请公布号 |
CN104812532A |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201280077378.0 |
申请日期 |
2012.11.28 |
申请人 |
株式会社可乐丽 |
发明人 |
井上一真;延藤芳树;荻田大;西田高治;玉井雅之 |
分类号 |
B24B57/02(2006.01)I;B24B27/06(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I |
主分类号 |
B24B57/02(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
朱美红;李婷 |
主权项 |
一种冷却剂再生方法,其特征在于,能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用,所述冷却剂再生方法包括:过滤工序,以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式,向所述各中空部内分别供给所述冷却剂,其中,所述中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下。 |
地址 |
日本冈山县仓敷市酒津1621番地 |