发明名称 冷却剂再生方法以及冷却剂再生装置
摘要 本发明提供一种冷却剂再生方法,其特征在于,能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用,以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式,从各中空纤维膜的一端向中空部内分别供给所述冷却剂,中空纤维膜的孔径为0.05μm以下。
申请公布号 CN104812532A 申请公布日期 2015.07.29
申请号 CN201280077378.0 申请日期 2012.11.28
申请人 株式会社可乐丽 发明人 井上一真;延藤芳树;荻田大;西田高治;玉井雅之
分类号 B24B57/02(2006.01)I;B24B27/06(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 主分类号 B24B57/02(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 朱美红;李婷
主权项 一种冷却剂再生方法,其特征在于,能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用,所述冷却剂再生方法包括:过滤工序,以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式,向所述各中空部内分别供给所述冷却剂,其中,所述中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下。
地址 日本冈山县仓敷市酒津1621番地