一种激光退火匀光装置

摘要

本发明涉及一种激光退火匀光装置，应用于激光退火装置中，包括发射激光光束的激光器，还包括若干柱面镜，所述若干柱面镜的曲率半径均相同，各个柱面镜在曲率所在平面的尺寸相同，且各个柱面镜在光束的传播方向上的长度不同，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差大于所述激光器的相干长度。本发明中，采用长度不同的大尺寸的柱面镜代替了现有技术中透明玻璃板与柱面镜组合的方式，同样能够实现消除干涉和匀化光束的作用，同时还消除了衍射引起的匀光效果不理想的问题，且减少了光学系统的搭建难度，以及降低了成本。

主权项

一种激光退火匀光装置，应用于激光退火装置中，包括发射激光光束的激光器，其特征在于，还包括若干柱面镜，所述若干柱面镜的曲率半径均相同，各个柱面镜在曲率所在平面的尺寸相同，且各个柱面镜在光束的传播方向上的长度不同，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差大于所述激光器的相干长度。