| 摘要 |
<p>본 발명은 종자결정을 이용하여 도가니에 수용된 실리콘 융액으로부터 잉곳을 성장시키는 장치로서, 상기 도가니가 수용되는 하부와, 성장되는 잉곳이 통과하는 상부로 구성된 챔버; 및 상기 챔버의 상부 내측에 마련되어 상기 챔버의 하부까지 연장되고, 상기 성장되는 잉곳을 냉각시키기 위한 냉각속도 제어부; 를 포함하고, 상기 냉각속도 제어부는, 상기 잉곳의 외측부를 보온하기 위한 단열부와, 상기 단열부 상측에 배치되어 상기 잉곳을 냉각시키기 위한 냉각부와, 상기 단열부와 냉각부 사이에 배치되어 상기 냉각부와 단열부 사이의 열 교환을 방해하기 위한 차단부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 따르면, 잉곳의 성장시 잉곳의 냉각속도를 제어할 수 있고, 잉곳의 외측부와 중심부의 냉각속도차이를 감소시킴으로써, 생산되는 웨피어의 품질을 향상시킬 수 있다.</p> |
