| 摘要 |
위치 측정 시스템을 위한 격자가 제공되며, 상기 격자는 제 1 방향으로 격자 라인들의 제 1 어레이를 포함하고, 제 2 방향으로 격자 라인들의 제 2 어레이를 포함한다. 제 1 및 제 2 어레이들은 제 1 및 제 2 어레이들에 입사하는 측정 빔을, 제 1 방향으로의 적어도 하나의 제 1 회절 빔으로 그리고 제 2 방향으로의 적어도 제 2 회절 빔으로 회절시킨다. 적어도 하나의 제 1 회절 빔은 제 1 방향으로의 위치 측정을 위해 사용되고, 적어도 하나의 제 2 회절 빔은 제 2 방향으로의 위치 측정을 위해 사용된다. 측정 빔은 전력 양을 갖고, 격자는 적어도 하나의 제 1 회절 빔 및 적어도 하나의 제 2 회절 빔에 걸쳐 전력 양을 불균일하게 분포시키도록 구성된다. |
