用于CIGS电池的氧化锌膜方法和结构

摘要

本发明提供了用于CIGS电池的氧化锌膜方法和结构。本发明的用于制造薄膜光电器件的方法包括：提供包括吸收层和覆盖的窗口层的基板。将基板装载到室中并经受真空环境。真空环境处于从0.1托到约0.02托范围内的压力下。在一个具体实施方式中，将来源于二乙基锌物质、水物质的反应物物质和载气的混合物引入到室中。该方法进一步利用选择的流速将乙硼烷物质引入到反应物物质的混合物中。利用所述选择的流速形成氧化锌膜覆盖在窗口层之上以限定透明导电氧化物以提供约2.5毫欧-cm和更小的电阻率和约3000埃到5000埃的平均粒度。

主权项

一种用于制造薄膜光电器件的方法，所述方法包括：提供包括吸收层和覆盖的窗口层的基板；将所述基板装载到室中；使所述基板经受从0.1托到0.02托范围内的真空环境，将所述基板保持在130摄氏度到190摄氏度的温度；引入来源于二乙基锌物质和水物质的反应物物质的混合物和载气；利用选择的流速将乙硼烷物质引入到所述反应物物质的混合物中，所述乙硼烷与二乙基锌比率在从0％到5％的范围；利用所述选择的流速形成覆盖在所述窗口层之上的氧化锌膜以限定透明导电氧化物以提供2.5毫欧‑cm和更小的电阻率和3000埃到5000埃的平均粒度。