位移调节装置

摘要

本发明公开了一种位移调节装置，包括：支架、导向组件、微调组件、微位移计和驱动组件。具体而言，所述导向组件设在所述支架上；所述微调组件沿第一直线方向和第二直线方向可移动地设在所述导向组件上；所述微位移计沿第三直线方向可移动地设在所述微调组件上，其中所述第一直线方向，所述第二直线方向及所述第三直线方向相互垂直；用于驱动所述微调组件移动的驱动组件，所述驱动组件分别与所述导向组件和所述微调组件相连。根据本发明实施例的位移调节装置，可应用于快速、高效、精密检测变形镜各致动点的微位移量，从而达到较高的应力调节精度。

主权项

一种位移调节装置，其特征在于，包括：支架；导向组件，所述导向组件设在所述支架上；微调组件，所述微调组件沿第一直线方向和第二直线方向可移动地设在所述导向组件上；微位移计，所述微位移计沿第三直线方向可移动地设在所述微调组件上，其中所述第一直线方向，所述第二直线方向及所述第三直线方向相互垂直；和用于驱动所述微调组件移动的驱动组件，所述驱动组件分别与所述导向组件和所述微调组件相连。