一种基板加工装置

摘要

本发明公开了一种基板加工装置。其中，所述基板加工装置包括用于夹持基板的夹持组件及用于载置所述基板的支承组件，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源。根据本发明的基板加工装置，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源，由此，可以通过所述夹持组件与所述支承组件各自的驱动源，驱动所述夹持组件与所述支承组件同步运动，使得基板相对于支承组件静止，在加工过程中无需每切割一刀对位一次，能够节省加工时间。

主权项

一种基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置包括用于夹持基板的夹持组件及用于载置所述基板的支承组件，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源；所述基板加工装置还包括控制器，所述控制器用于所述夹持组件的驱动源和所述支承组件的驱动源，使得所述夹持组件与所述支承组件在加工过程中同步运动，基板相对于支承组件的传动面保持静止。