发明名称 片材制造装置
摘要 一种片材制造装置,包括一容器,其定义出一通道以容纳一熔体。熔体会从通道的一第一位置流至一第二位置。一冷却板邻近熔体,用以在熔体上形成一片材。一溢流道配置于通道的第二位置。溢流道用以将片材从熔体分离。
申请公布号 CN102925986B 申请公布日期 2015.07.29
申请号 CN201210393420.1 申请日期 2009.03.13
申请人 瓦里安半导体设备公司 发明人 彼德·L·凯勒曼;法兰克·辛克莱
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种片材制造装置,包括:一容器,定义出一通道以容纳一材料的一熔体,该熔体会从该通道的一第一位置流至一第二位置;一冷却板,邻近该熔体,该冷却板用以在该熔体上形成该材料的一片材,其中该冷却板具有一弯曲边缘;以及一溢流道,配置于该通道的该第二位置,该溢流道用以将该片材从该熔体分离。
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号