| 发明名称 | 真空镀膜设备的复合密封系统 | ||
| 摘要 | 提供了一种真空镀膜设备的复合密封系统，包括密封法兰和光面法兰。所述密封法兰压紧所述光面法兰，形成符合密封结构。本发明同现有技术相比，其采用了复合密封圈的结构，使得密封性能更可靠；且不会因其中一根密封圈的失效而影响真空腔体的密封性，延长了大面积密封结构的使用寿命。同时，本密封结构具有结构简单，易安装、拆卸的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN104805412A | 申请公布日期 | 2015.07.29 |
| 申请号 | CN201510072257.2 | 申请日期 | 2015.02.10 |
| 申请人 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 发明人 | 彭寿;魏晓俊;官敏;惠建秋;谷天奇;王海林;杨黎虹;蒋鸿;于涛;赵永 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人 | 王法男 |
| 主权项 | 一种真空镀膜设备的复合密封系统，包括密封法兰(1)和光面法兰(2)，所述密封法兰(1)压紧所述光面法兰(2)，形成符合密封结构。 | ||
| 地址 | 200061 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层 | ||