微机电气体感测装置

摘要

一种微机电气体感测装置，包括基板、氧化层、加热单元、导热金属层、钝化层与感测单元层。基板具有第一空腔。氧化层具有第一面与相对第一面的第二面，氧化层配置于基板上，并覆盖第一空腔，且第一面与基板接触。加热单元配置于氧化层内，且邻近于氧化层的第一面。导热金属层配置于加热单元与氧化层的第二面之间。钝化层配置于氧化层的第二面上，且具有至少一孔洞。感测单元层配置于钝化层上，且透过至少一孔洞与导热金属层电性连接。

主权项

一种微机电气体感测装置，其特征在于，包括：一基板，具有一第一空腔；一氧化层，具有一第一面与相对该第一面的一第二面，该氧化层配置于该基板上，并覆盖该第一空腔，且该第一面与该基板接触；一加热单元，配置于该氧化层内，且邻近于该氧化层的该第一面；一导热金属层，配置于该加热单元与该氧化层的该第二面之间；一钝化层，配置于该氧化层的该第二面上，且具有至少一孔洞；以及一感测单元层，配置于该钝化层上，且透过该至少一孔洞与该导热金属层电性连接。